德國WIKA高純傳感器應用

半導體、平板顯示器和光伏行業(yè)

用于為半導體生產(chǎn)系統(tǒng)供應高純氣體

德國WIKA高純傳感器產(chǎn)品特性

高精度壓力測量0.15 % RSS

長期穩(wěn)定性

信號降噪和屏蔽

真空基準壓力測量

主動溫度補償

描述可靠WUD-2x系列高純傳感器將*的傳感器理念與模擬輸出信號相結(jié)合，能夠為當前市場需求提供安全、準確的壓力測量。

基于真正真空基準的壓力測量技術(shù)，加上帶干擾屏蔽及噪音消除的電子測量技術(shù)，確保了高精度壓力測量以及優(yōu)異的長期穩(wěn)定性。

主動溫度補償可降低溫度變化對傳感器的影響，即使在溫度變化很大的應用中仍然能夠安全使用，如氣體膨脹時的焦耳湯姆遜效應。

WUD-25管道式及WUD-26表面安裝傳感器采用特別設計，可承受安裝帶來的扭曲應力。特殊的薄膜設計可消除過程連接或焊接接縫處的負載造成的傳感器失效風險。

多用途
WUD-2x可輕松安裝于“on-tool"配氣系統(tǒng)中。明亮的LED顯示屏可旋轉(zhuǎn)，因此可從任意位置輕松查看讀數(shù)。

配備2個可編程開關(guān)輸出，可針對具體應用進行監(jiān)測及控制。

結(jié)構(gòu)緊湊
WUD-2x為緊湊型UHP傳感器，夠用于安裝空間狹小的場合，甚至可輕松對現(xiàn)有裝置進行改裝。

針對不同測量任務提供合適的壓力變送器

壓力變送器能將“壓力"物理量轉(zhuǎn)換成工業(yè)標準信號。我們不僅可提供滿足所有通用工業(yè)應用的不同壓力變送器，還能為制冷和空調(diào)應用、食品加工行業(yè)、工程機械、醫(yī)療氣體和半導體工業(yè)提供特殊型號的產(chǎn)品。

威卡（WIKA）可提供0.05%的精度和5 kPa到1,500 MPa的測量范圍的壓力變送器，產(chǎn)品還具有CANopen和IO-Link等數(shù)字接口以及多種認證（包括危險區(qū)域認證）。